TomoScope XL

TomoScope XLは大型モデルです。

 

X線管は5タイプで、最大出力300kV対応。

最大測定可能サンプルサイズはφ=500mm、L=710mmです。

仕様

 

X線管

190kV225kV、300kV

測定レンジ(標準)

 最大Φ=362mm、最大L=378mm
例:Φ30mm x L375mm
  
Φ360mm x L333mm  

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=500mm、最大L=710mm
例:Φ30mm x L696mm
  
Φ500mm x L658mm 

ステージ耐荷重

40kg (精度保証有は10kgまで)

最大許容エラー

E: (4.5+L/75) μm

位置分解能

0.1 μm

ディテクター

2000×2000 pixel4000×4000pixel

装置サイズ

: 3830mm x 奥行: 1968mm x 高さ: 1976mm

装置重量

11000kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h