特集:小型部品の高速測定

TomoScope XS

2017年に登場した最新小型モデルの【TomoScope XS】は、必要な機能を厳選して装置を小型化することで、従来の半分以下のコストで寸法測定用X線CTを導入できるようになりました。

ここではXSや高速測定用の最新オプション【OnTheFly】を使用した測定事例、測定可能サンプルや特長をご紹介します。

測定事例

ガラスレンズ単体

半導体露光装置用のガラス製光学レンズ(φ30mm)の測定事例です。時短オプション【OnTheFly】の精度と測定時間の短縮率を検証しています。

動画解説3例

こちらの動画を詳しく解説しています。樹脂製のギアと金属製のインプラント、及び複数部品同時測定の3つの事例をご覧頂けます。

XSで測定できるサンプル

XSでは、上の事例のように樹脂や小型の金属を測定できます。
測定可能なサイズや素材の目安は以下の通りです。

測定レンジ

【標準】最大Φ=55mm最大L=49mm  (例:Φ10mm x L48mm、Φ55mm x L46mm )
【オプション付】最大Φ=120mm、最大L=97mm  (例:Φ10mm x L96mm、Φ120mm x L83mm )

素材ごとの透過厚み目安
  XS、Sで測定可能 S~XLで測定可能
材質/X線管出力 130kV 160kV 190kV 225kV
~5mm ~8mm ~25mm ~40mm
アルミ ~30mm ~50mm ~90mm ~150mm
樹脂 ~90mm ~130mm ~200mm ~250mm

上記は目安であり、サンプルの形状等によって測定可否は異なります。お電話(048-441-1133)かお問合せフォームから測定ご希望サンプルの詳細(サイズ、素材、形状等)をお伝え頂くと、個別のサンプルにそったご案内をさせて頂きます。

XSの特長

導入コストを大幅削減

XSは必要な機能を厳選して装置サイズも極力絞ることで、寸法測定用CTとしてはこれまでにない低価格を実現しました。

仕様によっては、これまでの寸法測定用CT 半額1/3以下もあり得ます。(他のTomoScopeとの比較

メンテナンスも年1回で低コスト

他のTomoScopeシリーズでは年4回必要なメンテナンスが、年1回で運用できます。

これはXSのX線管が密閉管と開放管の良いところを受け継いだ「開放モノブロック管」方式を採用しているから。

10年の運用コストを比較すると、密閉管 > 開放管 > 開放モノブロック管 となる試算です。(一般に密閉管は、3年でオーバーホール、6年の寿命で全交換が必要となります。)

もちろん(3.5+L/100)μmの精度保証付き

高さ 1300mm設置面積 600mm×1400mmの小型ながらも、DAkkSにより寸法精度を保証された寸法測定用CT です。

装置仕様

 

X線管 130kV(透過型)、160kV(透過型)

測定レンジ(標準)

最大Φ=55mm、最大L=49mm

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=206mm最大L=97mm

ステージ耐荷重

10kg (精度保証有は2kgまで)

最大許容誤差
(DAkkS認証取得)

球間距離測定誤差

SD: (3.5+L/100)μm

球エッジ距離測定誤差 E: (4.5+L/75)μm
プロービング誤差 P: 4.5μm
位置分解能 0.1 μm
ディテクター

1300×1152 pixel2940×2304pixel

装置サイズ

: 1300mm x 奥行: 583mm x 高さ: 1370mm

装置重量

600kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h

 

その他の測定事例

電話でのお問合せはこちら

048-441-1133

エスオーエル株式会社                〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1

受付時間:9:00~17:30(土日祝を除く)

新着情報

2018年7月
2018年7月
【測定事例】
ベアリングの測定事例を追加しました。
2018年5月
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コネクタハーネスの測定動画を追加しました。
2018年4月
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2018年4月
TomoScopeXSの精度が(6.5+L/75)μmから(4.5+L/75)μmに更新されました。
2018年3月
東京都信用金庫協会・しんきん協議会連合会・東京事業経営者会主催 「平成30年度 優良企業表彰式」で特別奨励賞を受賞しました。