TomoCheck
TomoCheckは小型でシリーズ最高精度のモデルです。
X線管は2タイプで、最大出力225kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=176mm、L=365mmです。
仕様
| Ｘ線管 | 190kV、225kV | |
|---|---|---|
| 測定レンジ（標準） | 最⼤Φ=104mm、最⼤L=105mm Φ104mm x L91mm | |
| 測定レンジ（オプション付） | 最大Φ=176mm、最大L=365mm | |
| ステージ耐荷重 | 15kg (精度保証有は2kgまで) | |
| 最大許容誤差 | 球エッジ距離測定誤差 | E: (2.5+L/150) μm |
| プロービング誤差 | P: 2.5μm | |
| 位置分解能 | 0.01 μm | |
| ディテクター | 1024 x 1024 pixels | |
| 装置サイズ | 幅: 2570mm x 奥行: 1595mm x 高さ: 1976mm | |
| 装置重量 | 約10800kg | |
| ユーティリティ | 電源 3相200V、エアー 5.5bar以上 180000NL/h | |
| 温度環境 | 設定 20℃±1K、 勾配 0.5K/h | |