TomoCheckは小型でシリーズ最高精度のモデルです。
X線管は2タイプで、最大出力225kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=176mm、L=365mmです。
X線管 | 190kV、225kV | |
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測定レンジ(標準) | 最⼤Φ=104mm、最⼤L=105mm Φ104mm x L91mm | |
測定レンジ(オプション付) | 最大Φ=176mm、最大L=365mm | |
ステージ耐荷重 | 15kg (精度保証有は2kgまで) | |
最大許容誤差 | 球エッジ距離測定誤差 | E: (2.5+L/150) μm |
プロービング誤差 | P: 2.5μm | |
位置分解能 | 0.01 μm | |
ディテクター | 1024 x 1024 pixels | |
装置サイズ | 幅: 2570mm x 奥行: 1595mm x 高さ: 1976mm | |
装置重量 | 約10800kg | |
ユーティリティ | 電源 3相200V、エアー 5.5bar以上 180000NL/h | |
温度環境 | 設定 20℃±1K、 勾配 0.5K/h |