【樹脂測定例】ガラスレンズ単体

□サンプル: 平凸レンズ(半導体露光装置用光学レンズ)

□材質:   ガラス

□サイズ:  Φ30mm

□測定内容: 厚み測定、STL同士の偏差解析

□メリット: 平面と凸面の形状を同時に取得することで、任意断面の厚み測定が可能になりました。

平面を基準に、中央から2.5mm間隔で5か所の断面取得

2Dで厚み測定

STLデータ同士をフィッティングさせ、偏差をカラーマップで表示

その他の測定事例

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