精度検証:ブロックゲージ測定

校正原器の一例。
ルビー球の直径や中心間距離など、
351通りの寸法を測定しています。

使用したブロックゲージ。
今回は上半分を測定しました。

TomoScopeは、寸法測定精度をMPEE(4.5+L/75)μmとして保証しています(最大許容球エッジ距離測定誤差)。しかしこの数値は、あくまで決まった校正原器を測ったときの精度。寸法精度を重要視されるお客様からは、よくこんなご質問をいただきます。

 

「じゃあ、校正原器以外を測ったときの精度はどうなの?」

「実際の製品を測ったらどのくらい精度が出るの?」

 

こうした疑問にお答えすべく、SOLでは寸法のはっきりわかっている製品=ブロックゲージを測定し、 TomoScopeの寸法測定精度を検証しました。

 

◇測定ワーク(ブロックゲージ)

素材
サイズ 20mm x 9mm
厚み 1mm
公差 ±0.5μm

◇測定条件(抜粋)

管電流 225kV
視野

16mm

ボクセルサイズ 16μm

 

◇測定の概要

TomoScopeでブロックゲージをスキャンしてSTLデータを生成し、縦断面と横断面をとります。

縦断面は1.75mm間隔、横断面は2mm間隔で断面取得

各断面の厚みを、下図のように0.5mm間隔で寸法測定しました。

例:横断面1

◇測定結果

厚みのMax値とMin値の差から算出した、各断面の測定誤差は以下の通りです

※刻印部分の値は除く

結果、ブロックゲージの測定誤差は最大で±3.7μmでした。ブロックゲージ自体の誤差±0.5μmを含めても、TomoScopeの寸法精度保証±(4.5+L/75)μm*に収まっていることが確認できました。

(*MPE E は、ISO 10360 及び JIS B 7440 に従った定義です。尚、MPE E の数値表記について、多くの三次元測定機メーカーが採用しているように、±を略しています。)

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