□サンプル: ブロックゲージ
□材質: 鉄
□サイズ: 20mm×9mm×1mm(公差±0.5μm)
□測定内容: STLデータの寸法(厚み)測定、TomoScopeの精度検証
□メリット: 校正原器以外の測定でも、精度保証(4.5+L/75)μm内に収まることを確認。CTでは難しい金属の測定も高精度で行えます。
STLデータから断面取得
各断面の厚みを0.5mmピッチで測定
厚みのMax値とMin値から、各断面の測定誤差を算出
(※刻印部分を除く)
【検証結果】
ブロックゲージの測定誤差は最大で±3.7μmでした。
ブロックゲージ自体の誤差±0.5μmを含めても、TomoScopeの寸法精度保証MPE:±(4.5+L/75)μmに収まっていることが確認できました。