TomoScope XL
TomoScope XLは大型モデルです。
X線管は5タイプで、最大出力300kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=530mm、L=725mmです。
仕様
| Ｘ線管 | 190kV、225kV、300kV | |
|---|---|---|
| 測定レンジ（標準） | 最大Φ=188mm、最大L=188mm | |
| 測定レンジ（オプション付） | 最大Φ=530mm、最大L=725mm | |
| ステージ耐荷重 | 40kg (精度保証有は10kgまで) | |
| 最大許容誤差 (DAkkS認証取得) | 球間距離測定誤差 | SD: (3.5+L/100)μm |
| 球エッジ距離測定誤差 | E: (4.5+L/75)μm | |
| プロービング誤差 | P: 4.5μm | |
| 位置分解能 | 0.1 μm | |
| ディテクター | 1000×1000 pixel、4000×4000pixel 他 | |
| 装置サイズ | 幅: 3835mm ｘ 奥行: 1968mm x 高さ: 1976mm | |
| 装置重量 | 約14500kg | |
| ユーティリティ | 電源 3相200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h | |
| 温度環境 | 設定 20℃±2K、 勾配 1K/h | |