TomoScope XL

TomoScope XLは大型モデルです。

 

X線管は5タイプで、最大出力300kV対応。

最大測定可能サンプルサイズはφ=530mm、L=725mmです。

仕様

 

X線管

190kV225kV、300kV

測定レンジ(標準)

 最大Φ=188mm、最大L=188mm
例:Φ10mm x L187mm
  
Φ188mm x L180mm  

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=530mm、最大L=725mm
例:Φ20mm x L719mm
  
Φ530mm x L659mm 

ステージ耐荷重

40kg (精度保証有は10kgまで)

最大許容誤差

(DAkkS認証取得)
球間距離測定誤差

SD: (3.5+L/100)μm

球エッジ距離測定誤差 E: (4.5+L/75)μm
プロービング誤差 P: 4.5μm
位置分解能

0.1 μm

ディテクター

1000×1000 pixel4000×4000pixel

装置サイズ

: 3835mm x 奥行: 1968mm x 高さ: 1976mm

装置重量

11000kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h

 

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