2025年、TomoScope XS Plusに230kV、140Wのモデルが登場しました。
最大測定可能サンプルサイズはφ=316mm、L=489mmです。
| X線管 | 230kV(透過型) | |
|---|---|---|
| 測定レンジ(標準) | 最大Φ=50mm、最大L=48mm | |
| 測定レンジ(オプション付) | 最大Φ=316mm、最大L=489mm | |
| ステージ耐荷重 | 10kg (精度保証有は2kgまで) | |
| 最大許容誤差 | 球間距離測定誤差 | SD: (3.5+L/100)μm |
| 球エッジ距離測定誤差 | E: (4.5+L/75)μm | |
| プロービング誤差 | P: 4.5μm | |
| 位置分解能 | 0.1 μm | |
| ディテクター | 984×1024 pixel、2800×2304pixel 他 | |
| 装置サイズ | 幅: 1795mm x 奥行: 858mm x 高さ: 1560mm | |
| 装置重量 | 約2500kg | |
| ユーティリティ | 電源 単相200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h | |
| 温度環境 | 設定 20℃±2K、 勾配 1K/h | |