TomoScope L

TomoScope Lは中型モデルです。

 

X線管は5タイプで、最大出力300kV対応。

最大測定可能サンプルサイズはφ=470mm、L=678mmです。

仕様

 

X線管

190kV225kV、300kV

測定レンジ(標準)

 最大Φ=175mm、最大L=175mm
例:Φ10mm x L172mm
  
Φ175mm x L175mm 

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=470mm、最大L=678mm
例:Φ60mm x L666mm
  
Φ470mm x L560mm 

ステージ耐荷重

40kg (精度保証有は10kgまで)

最大許容誤差

(DAkkS認証取得)
球間距離測定誤差

SD: (3.5+L/100)μm

球エッジ距離測定誤差 E: (4.5+L/75)μm
プロービング誤差 P: 4.5μm
位置分解能

0.1 μm

ディテクター

1000×1000 pixel4000×4000pixel

装置サイズ

: 2570mm x 奥行: 1980mm x 高さ: 1976mm

装置重量

8500kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h

 

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エスオーエル株式会社

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