TomoScope S
TomoScope Sは国内実績No.1の中型モデルです。
X線管は4タイプで、最大出力225kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=204mm、L=398mmです。
仕様
| Ｘ線管 | 130kV、160kV、190kV、225kV | |
|---|---|---|
| 測定レンジ（標準） | 最大Φ=118mm、最大L=106mm | |
| 測定レンジ（オプション付） | 最大Φ=212mm、最大L=419mm | |
| ステージ耐荷重 | 15kg (精度保証有は2kgまで) | |
| 最大許容誤差 (DAkkS認証取得) | 球間距離測定誤差 | SD: (3.5+L/100)μm |
| 球エッジ距離測定誤差 | E: (4.5+L/75)μm | |
| プロービング誤差 | P: 4.5μm | |
| 位置分解能 | 0.1 μm | |
| ディテクター | 1024×1024 pixel、3888×3072pixel 他 | |
| 装置サイズ | 幅: 2122mm ｘ 奥行: 1137mm x 高さ: 1720mm | |
| 装置重量 | 約4000kg | |
| ユーティリティ | 電源 3相200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h | |
| 温度環境 | 設定 20℃±2K、 勾配 1K/h | |