TomoScope XS 

TomoScope XSは2017年5月に新登場した、最も小型のモデルです。

 

X線管は2タイプで、最大出力160kV対応。

最大測定可能サンプルサイズはφ=277mm、L=149mmです。

 

仕様

 

X線管 130kV(透過型)、160kV(透過型)

測定レンジ(標準)

最大Φ=51mm、最大L=45mm

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=277mm最大L=149mm

ステージ耐荷重

10kg (精度保証有は2kgまで)

最大許容誤差
(DAkkS認証取得)

球間距離測定誤差

SD: (3.5+L/100)μm

球エッジ距離測定誤差 E: (4.5+L/75)μm
プロービング誤差 P: 4.5μm
位置分解能 0.1 μm
ディテクター

1300×1152 pixel2940×2304pixel

装置サイズ

: 1300mm x 奥行: 583mm x 高さ: 1370mm

装置重量

880kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h

 

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