TomoScope XS FOV
2020年リリースとなった小型のハイスピードモデルです。
X線管は2タイプで、最大出力160kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=166mm、L=120mmです。
仕様
| Ｘ線管 | 130kV(反射型)、160kV(反射型) | |
|---|---|---|
| 測定レンジ（標準） | 最大Φ=51mm、最大L=45mm | |
| 測定レンジ（オプション付） | 最大Φ=120mm、最大L=93mm | |
| ステージ耐荷重 | 10kg (精度保証有は2kgまで) | |
| 最大許容誤差 | 球間距離測定誤差 | SD: (4+L/100)μm |
| 球エッジ距離測定誤差 | E: (5+L/75)μm | |
| プロービング誤差 | P: 5μm | |
| スキャン時間 | 約30秒／回 | |
| ディテクター | 1200×1060 pixel、2800×2200pixel 他 | |
| 装置サイズ | 幅: 1300mm ｘ 奥行: 674mm x 高さ: 1370mm | |
| 装置重量 | 約880kg | |
| ユーティリティ | 電源 単相200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h | |
| 温度環境 | 設定 20℃±2K、 勾配 1K/h | |