NEW TomoScope XS FOV

2020年リリースとなった小型のハイスピードモデルです。

 

X線管は2タイプで、最大出力160kV対応。

最大測定可能サンプルサイズはφ=166mm、L=120mmです。

 

仕様

 

X線管 130kV(反射型)、160kV(反射型)

測定レンジ(標準)

最大Φ=51mm、最大L=45mm

測定レンジ(オプション付)

最大Φ=166mm最大L=120mm

ステージ耐荷重

10kg (精度保証有は2kgまで)

最大許容誤差
(DAkkS認証取得)

球間距離測定誤差

SD: (4+L/100)μm

球エッジ距離測定誤差 E: (5+L/75)μm
プロービング誤差 P: 5μm
スキャン時間 約30秒/回
ディテクター

1200×1060 pixel2800×2200pixel

装置サイズ

: 1300mm x 奥行: 674mm x 高さ: 1370mm

装置重量

880kg

ユーティリティ

電源 3200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h

温度環境

設定 20±2K、 勾配 1K/h

 

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エスオーエル株式会社

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