TomoScope XS Plusは、2019年5月に登場したモデルです。
X線管は3タイプで、最大出力200kV対応。
最大測定可能サンプルサイズはφ=289mm、L=456mmです。
X線管 | 130kV(透過型)、160kV(透過型)、200kV(透過型) | |
---|---|---|
測定レンジ(標準) | 最大Φ=50mm、最大L=48mm | |
測定レンジ(オプション付) | 最大Φ=289mm、最大L=456mm | |
ステージ耐荷重 | 10kg (精度保証有は2kgまで) | |
最大許容誤差 | 球間距離測定誤差 | SD: (3.5+L/100)μm |
球エッジ距離測定誤差 | E: (4.5+L/75)μm | |
プロービング誤差 | P: 4.5μm | |
位置分解能 | 0.1 μm | |
ディテクター | 984×1024 pixel、2800×2304pixel 他 | |
装置サイズ | 幅: 1790mm x 奥行: 890mm x 高さ: 1550mm | |
装置重量 | 約2500kg | |
ユーティリティ | 電源 単相200V、エアー 5.5bar以上 3000NL/h | |
温度環境 | 設定 20℃±2K、 勾配 1K/h |